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Produktbereich Vakuumdrehdurchführungen
Es können einige Konstruktionsparameter modifiziert oder auf Kundenbedürfnisse angepasst werden um sicherzustellen dass das Produkt den Anforderungen genau entspricht. Dazu gehören Befestigungsart, das benutzte Ferrofluid, Lagertype und Lagerposition Wellenfestigkeit und Wellenende, Streumagnetfeld und der Ort der Dichtstufen (Auf der Welle oder im Polstück) Diese Seiten beinhalten Beispiele von kundenspezifischen Konstruktionen und Dichtungs-Subsystemen der Ferrotec.
Anwendung: CVD, Vakuumbeschichtungsanlagen, Gaszufuhrmodule
Ferrofluidic rotierende Gaszuführungen bieten den Herstellern von CVD und anderen Beschichtungssystemen effiziente und flexible Methode um Gase in den Prozess zu führen. Ein statischer Gasanschluss wird in eine rotierende Welle überführt, die die Wafer trägt. Dies stellt sicher, dass der Gasauslass in der Mitte des Wafers angeordnet ist, was zu einer gleichmässigen Beschichtung führt.
Anwendung: Waferhandhabung, CVD Waferrotation mit stationärer Welle.
Ferrotec bietet multi-axiale Drehdurchführungen für Waferhandhabungsanwendungen. Diese bieten eine sehr hohe Wiederholungsgenauigkeit ohne Spiel. Eine Linearbewegung kann integriert werden und für eine UHV-Optimierung kann eine freitragende Lageranordnung (cantilever) gewählt werden. Da die Drehdurchführungen für jede Bewegungsachse eine durchgehende Welle hat, wird eine maximale torsionssteifigkeit erreicht und so die höchste Drehmomentübertragung aller Dichtungstechniken für UHV-Waferhandhabungssysteme erreicht.
Anwendung: MOCVD, LPCVD, PECVD, Designs bei denen agressive Reinigungsmittel zum Einsatz kommen
Reactivgasdichtungen für Anwendungen wie MOCVD verwenden ein inertes Flourkohlenstoffbasiertes Ferrofluid und haben Lager in Kragbauweise kombiniert um die Lager vor den agressiven Medien abzuschotten. Auch können Spülgase zum Schutz verwendet werden oder Bauteile mit Schutzbeschichtungen geschützt werden.
Anwendung: Überall dort wo ein Antriebsmotor benötigt wird, speziell wenn Servomotoren zum Einsatz kommen sollen
Eine in-line Drehdurchführung mit Antrieb hat eine kompakte Bauweise im Vergleich zu einem diskreten Aufbau. Ferrofluidic® in-line Drehdurchführung mit Antrieb sind mit einem Bürstenlosen Servomotor ausgerüstet und werden mit einer angepassten Versorgung mit Sinusförmiger Kommutation geliefert. Auf die Anwendung abgestimmte Geber sind eingebaut. Da der Motor direkt um die Welle angeornet ist und nicht angekoppelt ist bietet diese Anordnung eine optimalen Drehmomentwirkungsgrad. Drehdurchführungen mit Antrieb sind mit massiver oder mit Hohlwelle erhältlich.
Anwendung: optische Beschichtungsverfahren, 300 mm Waferdrehantriebe
Drehdurchführungen für hohe Geschwindigkeiten oder mit grossem Hohlwellendurchmesser sind ideal für optische Beschichtungsverfahren wie zum Beispiel Herstellung von Inteferenzfilter für Glasfaserübertragung. Diese Drehdurchführungen sind mit einem doppleten Ferrofluidic® Dichtung ausgestattet um einen statischen Zugang zur Rückseite der Rückseite der Dichtung zu haben. Der Antrieb erfolgt über einen Zahnriemen oder einen im Gehäuse integrierten bürstenlosen Motor. Das Beschichtungsobjekt kann wegen des sehr grossen Durchmessers der Drehdurchführung während der Herstellung präzise überwacht werden. Dichtungen mit 200 mm Durchmesser kann mit bis zu 1000 min -1 betrieben werden.
Anwendung: Waferhandhabung, Ionenimplantation
Ferrofluidic® Spindeln können mit einer Rundlaufgenauigkeit von 0,005 mm realisiert werden. Diese Produkte sind ideal für Waferhandhabung und Waferpositionierungsaufgaben mit besonderen Anforderungen an die Genauigkeit. Axiale, torsionale und radiale Steifigkeit werden durch anpassung der Welle und Lagerung erreicht.
Anwendung: FLIR Einheiten, Nachrüst-Drehdurchführungen, Trockner
Ferrotec bietet extrem kompakte Dichtungen mit geringen Abmessungen an. Die Anforderungen bei Nachrüst- oder Umrüstungen müssen mit dem vorhandenen Bauraum auskommen. Bei Neukonstruktionen kann damit der Gesamtaufbau kompakt gehalten werden.
Anwendung: Waferhandhabung und Ausrichtung mit Z-bewegung
Drehdurchführungen mit Linearhub kombinieren eine Ferrofluidic® Drehdurchführung mit einem kantengeschweissten Metallbalg. Dort kommen vorgespannte Schrägkugellager und Lagerbuchsen oder Linear-Kugellager zum einsatz. Solche Drehdurchführungen sind ideal für Waferhandhabung oder Positionierungsaufgaben.
Ferrotec bietet eine Auswahl von Umrüst-Drehdurchführungen für einige Vakuumanlagen führender OEM Herstellen an. Bitte fragen Sie die Verfügbarkeit für Ihre spezielle Anlage im Einzelfall an.
